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我國自1995年開始推動微機電技術到2002年擴展至奈米科技領域，6年多以來政府投入的研發經費已由過去每年6億元台幣成長到20億元（2002年開始），所發展成功的技術及產品透過技術移轉或所培養人才的釋出，已經逐漸在國內創造出30餘家微/奈米技術相關之廠商，分別屬於資訊、汽車、通信、光電、生醫等產業。估計業者投入的資金已不下於佰億元台幣，所創造出來的產值雖然尚無具體的統計數字，但是以我國在半導體製造技術實力基礎上觀之，應有機會在世界市場佔一席之地。
根據88年11月召開之全國「微機電系統產業技術發展策略會議」結論以及對於國內現況的初步訪查結果，短期內將選擇下表所列產業及產品為推動重點：
主要的推動做法擇要如下：
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